故障1：真空泵不啟動的故障
原因及處理：泵油的粘度不好，型號不對，其次，溫度對泵油也有影響，尤其在季節交替變化時尤為明顯，特別是當泵長時間不啟動時會引起負高壓丟失，這種情況就比較嚴重了，因為，要再次抽真空需要10多個小時，對于快節奏的生產勢必會造成很大的損失的，所以盡量避免負高壓丟失的情況發生，尤其是當泵不自動啟動時一定要手動按動泵電機處的綠色開關，如不啟動，應檢查一下，分析軟件中的泵運行狀態的信號是否處于ON的狀態，如果是OFF應等待直到變為ON再去手動按開關，另外，到了冬天室內溫度不要太低，也應保持在15度以上，對于泵油的型號，泵不同，油就不同，一定要確保泵和油的型號要一致，油時間長了，如果發黃比較渾濁，就應該考慮換油了。當真空度太好的話，泵啟動也很困難，因此需要對真空室蓋板的內六角螺栓進行調節，以增加泵的機械效率。經驗證，利用此法會使泵的啟動故障改善很多。
故障2：負高壓突然消失
由于真空值長時間上不去，導致負高壓消失，
處理方法：將控制箱的第二個地線進行拔插反復試幾次就好了。如果仍然不行就考慮重啟儀器了。
故障3：碳異常偏高
原因：氬氣不純，需要換氣，先用高純氬氣試一下。
故障4：排氬管路堵塞
現象：出現樣品上跳，無法分析
原因：排氬管路內部有臟物
處理：清理氬氣過濾器 排氣管
故障5：光強值偏低
原因：聚光鏡臟 狹縫臟 光電倍增管性能下降
處理：擦聚光鏡、清理狹縫、更換對應的光電倍增管
故障6：激發聲音異常
原因：分析時激發臺板小孔沒蓋嚴
處理：樣品為全部將激發小孔蓋上
