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等離子清洗機-等離子體故障維修分析
等離子體相關故障：
等離子體相關的故障可以分為不產生等離子體和等離子體密度低。
1.不產生等離子體
不產生等離子體的主要問題有以下幾種情況:
(1)射頻電源損壞
措施：檢查射頻源輸出信號、射頻電纜、匹配網絡，對故障點進行維修。
(2)真空問題
措施：檢查各連接處的漏率，對漏率比較大的密封圈進行更換；檢查真空泵組。
(3)壓力過大或過低
措施：檢查氣源壓力；檢查壓力閥；檢查真空閥。
2.等離子體密度低
等離子體密度低可從射頻功率源、氣源充足性、質量流量控制器、腔壁是否污染等方面檢查。
上海仰光電子維修工程師具有超過二十年的精密儀器儀表和實驗室設備維修經驗，擅長維修進口精密儀器儀表。仰光電子儀器儀表維修具有排除速度快，維修成功率高的優勢。我公司擁有充足的各種精密儀器儀表的配件，以及很多市場上罕見的配件庫存，部分維修配件來自于原廠進口供給。我們擁有大部分儀器儀表型號的電路板示意圖和說明書，為快速、準確維修儀器儀表打下了良好的基礎。
