
英國Quorum Q150R ES PLUS 離子濺射儀抽不上真空故障維修
一,離子濺射儀抽不上真空的故障
1.首先檢查真空泵排除基本可控情況,聽真空泵的聲音是否異常,如無異常檢查真空泵引線和電磁閥引線的插頭處是否連接正常,插頭里的排針有誤脫落或者接觸不良。檢查真空泵的與真空管道的連接,管道應(yīng)于真空泵的進(jìn)氣口連接,不要誤接到排氣口。
2.檢查上蓋和玻璃鐘罩是否放端正,玻璃鐘罩和下底盤的邊緣基本平齊,上蓋和鐘罩不能有錯(cuò)位。真空管道與儀器接口處的卡箍或者喉箍是否卡緊。開機(jī),如果真空表還是沒有走動(dòng),請(qǐng)立即關(guān)機(jī)。繼續(xù)做排除工作。
3.用kF16的盲堵配合KF16的橡膠圈(沒有可用橡皮塞代替),將儀器下底盤的真空排氣口堵住,開機(jī),觀察真空表是否走動(dòng)。
二、真空表打表
1.真空表向左或者向右打表,可以拆開前面板,找到一個(gè)白色8芯插座,看插座是否接觸不良。如果仍然打表,可將真空規(guī)管的黑色插頭拔掉,看是否打表。
三,真空忽高忽低
1.將真空室里的樣品取出,并清理真空室,空機(jī)試一次。