科磊KLA D-500 探針式輪廓儀上電不工作原因排查
(1)儀器不工作
這種故障產生的原因比較明顯，損壞形式比較簡單。如導線的斷路和短路；元件(晶體管、電阻、電容、電位器、變壓器等)內部的斷路和短路；插接件的接觸不良；傳動件卡住等。以BCJ-2型輪廓儀為例，說明儀器不工作的一些表現如下。
①開啟電源，指示燈不亮，各部分都不動作。這肯定是沒接通電源，要從電源插頭、導線、保險絲或電源變壓器等元件上找原因。
②通電后只有某一部件不動作。假如驅動箱不動，這時就應該從線路、微動開關、電源、機械結構等方面尋找原因，檢查各元件是否正常，對電機繞組也要檢查。
③各部件運動正常，但指零表不動，記錄筆也不動，或都偏向一邊。其原因可能是傳感器到電箱的連線有斷路，或者是加至傳感器的振蕩電壓有問題。若都正常，再用示波器觀察輸出信號。
④傳感器正常，指零表不動。毛病主要在電箱電路中。首先用萬用表檢查正負電源、振蕩器、放大器等是否處于正常狀態。必要時可用低頻信號發生器送人信號，再用示波器觀察輸出信號，以便檢查判斷出故障發生的區域。假如是放大器有毛病，可以通過測量各晶體管直流工作點的方法進一步縮小故障范圍。假如指零表正常，但記錄筆不動，則問題主要是在功率放大級。
⑤振蕩器停振：首先應該檢查供電、管子的工作點等是否正常。斷開外負載，看振蕩是否恢復。若不奏效，再在振蕩部件范圍內細細查找，檢查電容、電感、變壓器等元件是否正常。
(2)儀器不準確
不準是指放大倍數過大或過小，以致超出可調范圍；另外，還有放大非線性超差。以下分幾種情況討論。
①低擋放大倍數正常，而高擋變遲鈍。主要原因是電橋零點殘壓過大，使高擋放大級飽和。
②各擋放大倍數都大很多，指零表也搖擺不定．調總放大比電位器無效。主要原因是放大器的負反饋開路。
③各擋放大倍數都很小，原因較多．要逐級查找：當指零表滿度時，記錄器也滿度，表明功放級完好；當積分表示值偏小很多時．多為末級全波整流器中有二極管損壞；當積分表和記錄器的示值都偏小很多時，多為交流放大器的問題：
④積分表短路時指針仍慢慢移動而停不住。原因可能是短路觸點有污物，也可能是由表頭本身平衡不良引起的。指針漂移不超過1mm(6～8)s為正常。
⑤線性超差，多數是因為晶體管工作點不正確所致：
⑥信號變化時輸出不變。主要是由傳感器和電橋零點殘壓過大，使得放大器末級飽和而引起的。
(3)儀器不穩定
不穩定的情況有兩種：一是對同一表面進行測量時，測量數據分散超差；二是放大倍數和工作狀態時常變化。引起第一種情況的原因多是機械部件造成的誤差。如驅動箱驅動速度不穩定；行程控制觸點接觸不良；積分表軸尖磨損、傳感器導頭壓力或測力不合適等。引起第二種情況的原因較復雜。如元件虛焊，放大器的工作點隨著溫度變化而發生較大的變化等。以上故障用替代法檢查比較方便。
